Influence of the C"2H"2 flow rate on gradient TiCN films deposited by multi-arc ion plating: Fid-Bau Portal

Influence of the C"2H"2 flow rate on gradient TiCN films deposited by multi-arc ion plating

Li, J. / Zhang, S. / Li, M.

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Titel:

Influence of the C"2H"2 flow rate on gradient TiCN films deposited by multi-arc ion plating

Beteiligte:

Li, J. (Autor:in) / Zhang, S. (Autor:in) / Li, M. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 283 ; 134-144

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

11 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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