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The Effect of Casimir Force to the Performance of the Micro-Accelerometer

Shen, L. / Gao, S.Q. / Guan, Y.W.

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Titel:

The Effect of Casimir Force to the Performance of the Micro-Accelerometer

Beteiligte:

Shen, L. (Autor:in) / Gao, S.Q. (Autor:in) / Guan, Y.W. (Autor:in) / Tang, F.

Erschienen in:

Micro-Nano Technology XIV ; 247-250

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 562/565

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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