Influence of Package on Micro-Accelerometer Sensitivity: Fid-Bau Portal

Influence of Package on Micro-Accelerometer Sensitivity

Li, P. / Gao, S.Q. / Jin, L. / Liu, H.P. / Shi, Y.B.

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Titel:

Influence of Package on Micro-Accelerometer Sensitivity

Beteiligte:

Li, P. (Autor:in) / Gao, S.Q. (Autor:in) / Jin, L. (Autor:in) / Liu, H.P. (Autor:in) / Shi, Y.B. (Autor:in) / Tang, F.

Erschienen in:

Micro-Nano Technology XIV ; 1367-1372

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 562/565

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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