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Modeling of Nonlinear Stiffness of Micro-Resonator in Silicon Resonant Accelerometer

Jing, Z. / Jiang, S.D. / Qiu, A.P.

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Titel:

Modeling of Nonlinear Stiffness of Micro-Resonator in Silicon Resonant Accelerometer

Beteiligte:

Jing, Z. (Autor:in) / Jiang, S.D. (Autor:in) / Qiu, A.P. (Autor:in) / Tang, F.

Erschienen in:

Micro-Nano Technology XIV ; 374-379

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 562/565

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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