A New Method to Analyze the Stiffness of MEMS Accelerometer: Fid-Bau Portal

A New Method to Analyze the Stiffness of MEMS Accelerometer

Liu, H.T. / Wen, Z.Y. / Shang, Z.G. / Chen, L.

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Titel:

A New Method to Analyze the Stiffness of MEMS Accelerometer

Beteiligte:

Liu, H.T. (Autor:in) / Wen, Z.Y. (Autor:in) / Shang, Z.G. (Autor:in) / Chen, L. (Autor:in)

Erschienen in:

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 609/610 ; 710-714

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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