The Key Technologies of SOI Micro-Accelerometer Front Release Process: Fid-Bau Portal

The Key Technologies of SOI Micro-Accelerometer Front Release Process

Zhang, Z.Y. / Shi, Z.G. / He, X.P. / Du, L.M. / Zhang, H. / Peng, B.

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Titel:

The Key Technologies of SOI Micro-Accelerometer Front Release Process

Beteiligte:

Zhang, Z.Y. (Autor:in) / Shi, Z.G. (Autor:in) / He, X.P. (Autor:in) / Du, L.M. (Autor:in) / Zhang, H. (Autor:in) / Peng, B. (Autor:in) / Tang, F.

Erschienen in:

Micro-Nano Technology XIV ; 192-197

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 562/565

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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