Inductively coupled plasma etching for phase-change material with superlattice-like structure in phase change memory device: Fid-Bau Portal

Inductively coupled plasma etching for phase-change material with superlattice-like structure in phase change memory device

Zhou, J. / Chen, Y. / Zhou, W. / Miao, X. / ZheYang / Yu, N. / Liu, H. / Lan, T. / Yan, J.

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Titel:

Inductively coupled plasma etching for phase-change material with superlattice-like structure in phase change memory device

Beteiligte:

Zhou, J. (Autor:in) / Chen, Y. (Autor:in) / Zhou, W. (Autor:in) / Miao, X. (Autor:in) / ZheYang (Autor:in) / Yu, N. (Autor:in) / Liu, H. (Autor:in) / Lan, T. (Autor:in) / Yan, J. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 282 ; 862-867

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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