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    Titel:

    Etching of new phase change material Ti"0"."5Sb"2Te"3 by Cl"2/Ar and CF"4/Ar inductively coupled plasmas

    Beteiligte:

    Zhang, Z. (Autor:in) / Song, S. (Autor:in) / Song, Z. (Autor:in) / Cheng, Y. (Autor:in) / Zhu, M. (Autor:in) / Li, X. (Autor:in) / Zhu, Y. (Autor:in) / Guo, X. (Autor:in) / Yin, W. (Autor:in) / Wu, L. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 311 ; 68-73

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2014

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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