Improvements in the structural and optical properties of a-Si:H by a dense plasma focus: Fid-Bau Portal

Improvements in the structural and optical properties of a-Si:H by a dense plasma focus

Tong Goh, B. / Kien Ngoi, S. / Ling Yap, S. / San Wong, C. / Abdul Rahman, S.

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Titel:

Improvements in the structural and optical properties of a-Si:H by a dense plasma focus

Beteiligte:

Tong Goh, B. (Autor:in) / Kien Ngoi, S. (Autor:in) / Ling Yap, S. (Autor:in) / San Wong, C. (Autor:in) / Abdul Rahman, S. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 16 ; 1925-1930

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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