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    Titel:

    Development of tantalum oxynitride thin films produced by PVD: Study of structural stability

    Beteiligte:

    Cristea, D. (Autor:in) / Crisan, A. (Autor:in) / Barradas, N. P. (Autor:in) / Alves, E. (Autor:in) / Moura, C. (Autor:in) / Vaz, F. (Autor:in) / Cunha, L. (Autor:in) / Suzer, S. / Munteanu, D. / Vaz, F.

    Erschienen in:

    8th International Conference on Materials science and Engineering - BRAMAT 2013, Transilvania university of Brasov - Romania ; 19-26

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 285

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2013

    Format / Umfang:

    8 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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