Fabrication of through holes in silicon carbide using femtosecond laser irradiation and acid etching: Fid-Bau Portal

Fabrication of through holes in silicon carbide using femtosecond laser irradiation and acid etching

Khuat, V. / Ma, Y. / Si, J. / Chen, T. / Chen, F. / Hou, X.

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Titel:

Fabrication of through holes in silicon carbide using femtosecond laser irradiation and acid etching

Beteiligte:

Khuat, V. ( Autor:in ) / Ma, Y. ( Autor:in ) / Si, J. ( Autor:in ) / Chen, T. ( Autor:in ) / Chen, F. ( Autor:in ) / Hou, X. ( Autor:in )

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 289 ; 529-532

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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