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Well-controlled wet etching of ZnO films using hydrogen peroxide solution

Wang, Y. / Wu, T. / Chen, M. / Su, L. / Zhang, Q. / Yuan, L. / Zhu, Y. / Tang, Z.

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Titel:

Well-controlled wet etching of ZnO films using hydrogen peroxide solution

Beteiligte:

Wang, Y. (Autor:in) / Wu, T. (Autor:in) / Chen, M. (Autor:in) / Su, L. (Autor:in) / Zhang, Q. (Autor:in) / Yuan, L. (Autor:in) / Zhu, Y. (Autor:in) / Tang, Z. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 292 ; 34-38

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Print

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

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