Fabrication of CoPt Nanodot Array with a Pitch of 33 nm Using Pattern-Transfer Technique of PS-PDMS Self-Assembly: Fid-Bau Portal

Fabrication of CoPt Nanodot Array with a Pitch of 33 nm Using Pattern-Transfer Technique of PS-PDMS Self-Assembly

Huda, M. / Mohamad, Z.b. / Komori, T. / Yin, Y. / Hosaka, S.

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Titel:

Fabrication of CoPt Nanodot Array with a Pitch of 33 nm Using Pattern-Transfer Technique of PS-PDMS Self-Assembly

Beteiligte:

Huda, M. (Autor:in) / Mohamad, Z.b. (Autor:in) / Komori, T. (Autor:in) / Yin, Y. (Autor:in) / Hosaka, S. (Autor:in) / Hosaka, S.

Erschienen in:

Advanced Micro-Device Engineering IV ; 83-87

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 596

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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