Fabrication of Carbon Nanodot Arrays with a Pitch of 20 nm for Pattern-Transfer of PDMS Self-Assembled Nanodots: Fid-Bau Portal

Fabrication of Carbon Nanodot Arrays with a Pitch of 20 nm for Pattern-Transfer of PDMS Self-Assembled Nanodots

Liu, J. / Huda, M. / Mohamad, Z.b. / Zhang, H. / Yin, Y. / Hosaka, S.

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Titel:

Fabrication of Carbon Nanodot Arrays with a Pitch of 20 nm for Pattern-Transfer of PDMS Self-Assembled Nanodots

Beteiligte:

Liu, J. (Autor:in) / Huda, M. (Autor:in) / Mohamad, Z.b. (Autor:in) / Zhang, H. (Autor:in) / Yin, Y. (Autor:in) / Hosaka, S. (Autor:in) / Hosaka, S.

Erschienen in:

Advanced Micro-Device Engineering IV ; 88-91

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 596

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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