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    Titel:

    Fabrication of 25-nm-Pitched CoPt Magnetic Dot Arrays Using 30-keV-Electron Beam Drawing, RIE and Ion-Milling

    Beteiligte:

    Mohamad, Z.b. (Autor:in) / Huda, M. (Autor:in) / Komori, T. (Autor:in) / Alip, R.I. (Autor:in) / Zhang, H. (Autor:in) / Yin, Y. (Autor:in) / Hosaka, S. (Autor:in) / Hosaka, S.

    Erschienen in:

    Advanced Micro-Device Engineering IV ; 92-96

    KEY ENGINEERING MATERIALS ; 596

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2014

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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