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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Patterning SiC nanoprecipitate in Si single crystals by simultaneous dual- beam ion implantation

    Beteiligte:

    Velişa, G. (Autor:in) / Trocellier, P. (Autor:in) / Thomé, L. (Autor:in) / Vaubaillon, S. (Autor:in) / Sattonnay, G. l. (Autor:in) / Miro, S. (Autor:in) / Serruys, Y. (Autor:in)

    Erschienen in:

    JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE ; 49 ; 4899-4904

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2014

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    0022-2461

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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