60keV Ar^+-ion induced pattern formation on Si surface: Roles of sputter erosion and atomic redistribution: Fid-Bau Portal

60keV Ar^+-ion induced pattern formation on Si surface: Roles of sputter erosion and atomic redistribution

Garg, S. K. / Datta, D. P. / Kumar, M. / Kanjilal, D. / Som, T.

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Titel:

60keV Ar^+-ion induced pattern formation on Si surface: Roles of sputter erosion and atomic redistribution

Beteiligte:

Garg, S. K. (Autor:in) / Datta, D. P. (Autor:in) / Kumar, M. (Autor:in) / Kanjilal, D. (Autor:in) / Som, T. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 310 ; 147-153

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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