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    Structural, Electrical and Dielectric Properties of DC Reactive Magnetron Sputtered ZrO~2 Films for Metal-Oxide-Semiconductor Devices

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    Titel:

    Structural, Electrical and Dielectric Properties of DC Reactive Magnetron Sputtered ZrO~2 Films for Metal-Oxide-Semiconductor Devices

    Beteiligte:

    Kondaiah, P. (Autor:in) / Uthanna, S. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 781 ; 155-166

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2014

    Format / Umfang:

    12 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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