Structural and electrical properties of radio frequency magnetron sputtered tantalum oxide films: Influence of post-deposition annealing: Fid-Bau Portal

Structural and electrical properties of radio frequency magnetron sputtered tantalum oxide films: Influence of post-deposition annealing

Chandra, S. V. J. / Choi, C.-J. / Uthanna, S. / Rao, G. M.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Structural and electrical properties of radio frequency magnetron sputtered tantalum oxide films: Influence of post-deposition annealing

Chandra, S. V. J. / Choi, C.-J. / Uthanna, S. / Rao, G. M.

Structural and electrical properties of radio frequency magnetron sputtered tantalum oxide films: Influence of post-deposition annealing

Chandra, S. V. J. / Choi, C.-J. / Uthanna, S. / Rao, G. M.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Structural and electrical properties of radio frequency magnetron sputtered tantalum oxide films: Influence of post-deposition annealing

Beteiligte:

Chandra, S. V. J. (Autor:in) / Choi, C.-J. (Autor:in) / Uthanna, S. (Autor:in) / Rao, G. M. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 13 ; 245-251

Erscheinungsdatum:

01.01.2010

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

Chandra, S. V. / Uthanna, S. / Rao, G. M. | British Library Online Contents | 2008

Post-deposition annealing of RF-sputtered zinc-oxide films

Bekman, H. H. P. T. / Benoist, K. W. / Joppe, J. L. | British Library Online Contents | 1993

Post-deposition annealing of RF-sputtered zinc-oxide films

Bekman, H. H. P. T. / Benoist, K. W. / Joppe, J. L. | British Library Online Contents | 1993

Properties of radio frequency magnetron sputtered silicon dioxide films

Wu, W.-F. / Chiou, B.-S. | British Library Online Contents | 1996

Effect of post-deposition annealing on composition and electrical properties of dc reactive magnetron sputtered Al2O3 thin films

Prasanna, S. / Shaik, H. / Rao, G.M. et al. | British Library Online Contents | 2014

Nach oben