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    Titel:

    Fabrication and Packaging of Electromagnetic 2D MEMS Scanning Mirror

    Beteiligte:

    Zhang, C. (Autor:in) / Tang, F.

    Erschienen in:

    MICRO-NANO TECHNOLOGY XV ; 1165-1169

    KEY ENGINEERING MATERIALS ; 609/610

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2014

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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