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    Titel:

    Micron and Nanometer Measuring Methods Based on Metrological Scanning Electron Microscope

    Beteiligte:

    Yin, B.H. (Autor:in) / Chen, D.X. (Autor:in) / Xia, R. (Autor:in) / Wen, L.D. (Autor:in) / Xue, H. (Autor:in) / Chu, M.Z. (Autor:in) / Li, H. (Autor:in) / Tang, F.

    Erschienen in:

    MICRO-NANO TECHNOLOGY XV ; 1195-1200

    KEY ENGINEERING MATERIALS ; 609/610

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2014

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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