Tolerance Analysis of Comb-Driving Double Ended Tuning Fork Resonator Fabricated by DRIE Technology: Fid-Bau Portal

Tolerance Analysis of Comb-Driving Double Ended Tuning Fork Resonator Fabricated by DRIE Technology

Meng, R.L. / Zhang, H.Q. / Liu, H.

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Titel:

Tolerance Analysis of Comb-Driving Double Ended Tuning Fork Resonator Fabricated by DRIE Technology

Beteiligte:

Meng, R.L. (Autor:in) / Zhang, H.Q. (Autor:in) / Liu, H. (Autor:in) / Tang, F.

Erschienen in:

MICRO-NANO TECHNOLOGY XV ; 1375-1380

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 609/610

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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