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    Titel:

    Monitoring of (reactive) ion etching (RIE) with reflectance anisotropy spectroscopy (RAS) equipment

    Beteiligte:

    Barzen, L. (Autor:in) / Richter, J. (Autor:in) / Fouckhardt, H. (Autor:in) / Wahl, M. (Autor:in) / Kopnarski, M. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 328 ; 120-124

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2015

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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