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    Titel:

    Etching process of silicon oxycarbide from polysiloxane by chlorine

    Erschienen in:

    CORROSION SCIENCE ; 94 ; 237-244

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2015

    Format / Umfang:

    8 pages

    ISSN:

    0010-938X

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.16205 / 620

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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