Thermal stability of AlN films prepared by ion beam assisted deposition: Fid-Bau Portal

Thermal stability of AlN films prepared by ion beam assisted deposition

Meng, J. p. / Liu, X. p. / Fu, Z. q. / Wang, X. j. / Hao, L.

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Titel:

Thermal stability of AlN films prepared by ion beam assisted deposition

Beteiligte:

Meng, J. p. (Autor:in) / Liu, X. p. (Autor:in) / Fu, Z. q. (Autor:in) / Wang, X. j. (Autor:in) / Hao, L. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 347 ; 109-115

Erscheinungsdatum:

01.01.2015

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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