Electrical activation of nitrogen heavily implanted 3C-SiC(100): Fid-Bau Portal

Electrical activation of nitrogen heavily implanted 3C-SiC(100)

Li, F. / Sharma, Y. / Shah, V. / Jennings, M. / Pérez-Tomás, A. / Myronov, M. / Fisher, C. / Leadley, D. / Mawby, P.

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Titel:

Electrical activation of nitrogen heavily implanted 3C-SiC(100)

Beteiligte:

Li, F. (Autor:in) / Sharma, Y. (Autor:in) / Shah, V. (Autor:in) / Jennings, M. (Autor:in) / Pérez-Tomás, A. (Autor:in) / Myronov, M. (Autor:in) / Fisher, C. (Autor:in) / Leadley, D. (Autor:in) / Mawby, P. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 353 ; 958-963

Erscheinungsdatum:

01.01.2015

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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