Fachinformationsdienst BAUdigital

Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik

    Organic and organic–inorganic hybrid polymer thin films deposited by PECVD using TEOS and cyclohexene for ULSI interlayer-dielectric application

    Neue Suche nach: Seo, H. J.
    Neue Suche nach: Nam, S. H.
    Neue Suche nach: Kim, S.
    Neue Suche nach: Boo, J. H.

    Zugriff

    Zugriff über TIB
    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen
    Bestellung bei Subito €

    Zugriff

    Zugriff über TIB
    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen
    Bestellung bei Subito €

    Seitennavigation

    Dokumentinformationen
    Ähnliche Titel

    Exportieren, teilen und zitieren

    Organic and organic–inorganic hybrid polymer thin films deposited by PECVD using TEOS and cyclohexene for ULSI interlayer-dielectric application

    Neue Suche nach: Seo, H. J.
    Neue Suche nach: Nam, S. H.
    Neue Suche nach: Kim, S.
    Neue Suche nach: Boo, J. H.

    Zugriff

    Zugriff über TIB
    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen
    Bestellung bei Subito €

    Organic and organic–inorganic hybrid polymer thin films deposited by PECVD using TEOS and cyclohexene for ULSI interlayer-dielectric application

    Neue Suche nach: Seo, H. J.
    Neue Suche nach: Nam, S. H.
    Neue Suche nach: Kim, S.
    Neue Suche nach: Boo, J. H.

    Zugriff

    Zugriff über TIB
    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen
    Bestellung bei Subito €

    Zugriff

    Zugriff über TIB
    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen
    Bestellung bei Subito €

    Seitennavigation

    Dokumentinformationen
    Ähnliche Titel

    Exportieren, teilen und zitieren

    Dokumentinformationen
    Titel:

    Organic and organic–inorganic hybrid polymer thin films deposited by PECVD using TEOS and cyclohexene for ULSI interlayer-dielectric application

    Beteiligte:

    Seo, H. J. (Autor:in) / Nam, S. H. (Autor:in) / Kim, S. (Autor:in) / Boo, J. H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 354 ; 134-138

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2015

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

    Ähnliche Titel

    Study on TEOS-PEG Inorganic-Organic Hybrid Material

    Yu, X. / Wang, H. / Zi, Z. | British Library Online Contents | 1999

    Low-Dielectric-Constant Materials for ULSI Interlayer-Dielectric Applications

    Lee, W. W. / Ho, P. S. | British Library Online Contents | 1997

    A study of the characteristics of organic-inorganic hybrid plasma-polymer thin films by co-deposition of toluene and teos

    Cho, S.-J. / Lee, S. / Jung, D. et al. | British Library Online Contents | 2010

    Synthesis of inorganic-organic hybrid materials from TEOS, TBT and PDMS

    Tellez, L. / Rubio, J. / Rubio, F. et al. | British Library Online Contents | 2003

    VOCs sensing properties of layered organic–inorganic hybrid thin films: MoO3 with various interlayer organic components

    Itoh, T. / Wang, J. / Matsubara, I. et al. | British Library Online Contents | 2008

    Nach oben