Nitrogen- and ammonia-plasma nitridation of hydrogenated amorphous silicon: Fid-Bau Portal

Nitrogen- and ammonia-plasma nitridation of hydrogenated amorphous silicon

Masuda, A. / Yoshimoto, S. / Yonezawa, Y. / Morimoto, A. / Kumeda, M. / Shimizu, T.

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Titel:

Nitrogen- and ammonia-plasma nitridation of hydrogenated amorphous silicon

Beteiligte:

Masuda, A. (Autor:in) / Yoshimoto, S. (Autor:in) / Yonezawa, Y. (Autor:in) / Morimoto, A. (Autor:in) / Kumeda, M. (Autor:in) / Shimizu, T. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 113/114 ; 610-613

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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