AlN-based surface acoustic wave resonators on platinum bottom electrodes for high-temperature sensing applications: Fid-Bau Portal

AlN-based surface acoustic wave resonators on platinum bottom electrodes for high-temperature sensing applications

Li, C. / Liu, X. Z. / Peng, B. / Shu, L. / Li, Y. R.

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Titel:

AlN-based surface acoustic wave resonators on platinum bottom electrodes for high-temperature sensing applications

Beteiligte:

Li, C. ( Autor:in ) / Liu, X. Z. ( Autor:in ) / Peng, B. ( Autor:in ) / Shu, L. ( Autor:in ) / Li, Y. R. ( Autor:in )

Erschienen in:

RARE METALS -BEIJING- ENGLISH EDITION ; 35 ; 408-411

Erscheinungsdatum:

01.01.2016

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1001-0521

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 669

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