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Critical invisible defect detection system of thin film transistor panels using Kelvin probe force microscopy

Park, Y. / Heo, K.

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Titel:

Critical invisible defect detection system of thin film transistor panels using Kelvin probe force microscopy

Beteiligte:

Park, Y. (Autor:in) / Heo, K. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 375 ; 19-25

Erscheinungsdatum:

01.01.2016

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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