Analysis of nitrogen species in titanium oxynitride ALD films: Fid-Bau Portal

Analysis of nitrogen species in titanium oxynitride ALD films

Sowińska, M. g. / Brizzi, S. / Das, C. / Kärkkänen, I. / Schneidewind, J. / Naumann, F. / Gargouri, H. / Henkel, K. / Schmeißer, D.

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Titel:

Analysis of nitrogen species in titanium oxynitride ALD films

Beteiligte:

Sowińska, M. g. (Autor:in) / Brizzi, S. (Autor:in) / Das, C. (Autor:in) / Kärkkänen, I. (Autor:in) / Schneidewind, J. (Autor:in) / Naumann, F. (Autor:in) / Gargouri, H. (Autor:in) / Henkel, K. (Autor:in) / Schmeißer, D. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 381 ; 42-47

Erscheinungsdatum:

01.01.2016

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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