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    Titel:

    Morphology and stress at silicon-glass interface in anodic bonding

    Beteiligte:

    Tang, J. (Autor:in) / Cai, C. (Autor:in) / Ming, X. (Autor:in) / Yu, X. (Autor:in) / Zhao, S. (Autor:in) / Tu, S. T. (Autor:in) / Liu, H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 387 ; 139-148

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2016

    Format / Umfang:

    10 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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