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    Titel:

    A study on phase transformation of SnOx thin films prepared by reactive magnetron sputtering

    Beteiligte:

    Guo, Li (Autor:in) / Zhao, Ming (Autor:in) / Zhuang, Daming (Autor:in) / Gong, Qianming (Autor:in) / Tan, Hao (Autor:in) / Cao, Mingjie (Autor:in) / Ouyang, Liangqi (Autor:in)

    Erschienen in:

    Materials science in semiconductor processing ; 46 ; 35-38

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2016

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    1369-8001

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.38152

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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