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    Titel:

    Formation and characterization of porous silicon films obtained by catalyzed vapor-chemical etching

    Beteiligte:

    Díaz-Torres, E. (Autor:in) / Romero-Paredes, G. (Autor:in) / Peña-Sierra, R. (Autor:in) / Ávila-García, A. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Materials science in semiconductor processing ; 40 ; 533-538

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2015

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    1369-8001

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.38152

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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