Lanthanide rare earth oxide thin film as an alternative gate oxide: Fid-Bau Portal

Lanthanide rare earth oxide thin film as an alternative gate oxide

Goh, Kian Heng / Haseeb, A.S.M.A. / Wong, Yew Hoong

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Titel:

Lanthanide rare earth oxide thin film as an alternative gate oxide

Beteiligte:

Goh, Kian Heng (Autor:in) / Haseeb, A.S.M.A. (Autor:in) / Wong, Yew Hoong (Autor:in)

Erschienen in:

Materials science in semiconductor processing ; 68 ; 302-315

Erscheinungsdatum:

01.01.2017

Format / Umfang:

14 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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