Thermal annealing performance of sulfur-hyperdoped black silicon fabricated using a Nd:YAG nanosecond-pulsed laser: Fid-Bau Portal

Thermal annealing performance of sulfur-hyperdoped black silicon fabricated using a Nd:YAG nanosecond-pulsed laser

Wen, C. / Chen, W. / Chen, Y.P. / Liu, K.J. / Li, X.H. / Hu, S.F. / Yang, Y.J.

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Titel:

Thermal annealing performance of sulfur-hyperdoped black silicon fabricated using a Nd:YAG nanosecond-pulsed laser

Beteiligte:

Wen, C. (Autor:in) / Chen, W. (Autor:in) / Chen, Y.P. (Autor:in) / Liu, K.J. (Autor:in) / Li, X.H. (Autor:in) / Hu, S.F. (Autor:in) / Yang, Y.J. (Autor:in)

Erschienen in:

Materials research bulletin ; 93 ; 238-244

Erscheinungsdatum:

01.01.2017

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0025-5408

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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