Surface engineering of SiC via sublimation etching: Fid-Bau Portal

Surface engineering of SiC via sublimation etching

Jokubavicius, Valdas / Yazdi, Gholam R. / Ivanov, Ivan G. / Niu, Yuran / Zakharov, Alexei / Iakimov, Tihomir / Syväjärvi, Mikael / Yakimova, Rositsa

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Titel:

Surface engineering of SiC via sublimation etching

Beteiligte:

Jokubavicius, Valdas (Autor:in) / Yazdi, Gholam R. (Autor:in) / Ivanov, Ivan G. (Autor:in) / Niu, Yuran (Autor:in) / Zakharov, Alexei (Autor:in) / Iakimov, Tihomir (Autor:in) / Syväjärvi, Mikael (Autor:in) / Yakimova, Rositsa (Autor:in)

Erschienen in:

Applied surface science ; 390 ; 816-822

Erscheinungsdatum:

01.01.2016

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.44

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