Study on thermal solid-phase crystallization of amorphous ZnO thin films stacked on vanadium-doped ZnO films: Fid-Bau Portal

Study on thermal solid-phase crystallization of amorphous ZnO thin films stacked on vanadium-doped ZnO films

Watanabe, Akihiro / Chiba, Hiroshi / Kawashima, Tomoyuki / Washio, Katsuyoshi

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Titel:

Study on thermal solid-phase crystallization of amorphous ZnO thin films stacked on vanadium-doped ZnO films

Beteiligte:

Watanabe, Akihiro (Autor:in) / Chiba, Hiroshi (Autor:in) / Kawashima, Tomoyuki (Autor:in) / Washio, Katsuyoshi (Autor:in)

Erschienen in:

Materials science in semiconductor processing ; 70 ; 219-222

Erscheinungsdatum:

01.01.2017

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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