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    Titel:

    Diffusion doping of germanium by sputtered antimony sources

    Beteiligte:

    Maggioni, Gianluigi (Autor:in) / Sgarbossa, Francesco (Autor:in) / Napolitani, Enrico (Autor:in) / Raniero, Walter (Autor:in) / Boldrini, Virginia (Autor:in) / Carturan, Sara Maria (Autor:in) / Napoli, Daniel Ricardo (Autor:in) / De Salvador, Davide (Autor:in)

    Erschienen in:

    Materials science in semiconductor processing ; 75 ; 118-123

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2018

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    1369-8001

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.38152

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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