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Analytical and numerical depth resolution functions in sputter profiling

Hofmann, S. / Liu, Y. / Wang, J.Y. / Kovac, J.

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Titel:

Analytical and numerical depth resolution functions in sputter profiling

Beteiligte:

Hofmann, S. (Autor:in) / Liu, Y. (Autor:in) / Wang, J.Y. (Autor:in) / Kovac, J. (Autor:in)

Erschienen in:

Applied surface science ; 314 ; 942-955

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

14 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.44

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