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    Titel:

    Growth of SiC films on silicon substrate by cold implantation of carbon recoil atoms

    Beteiligte:

    Zinenko, V.I. (Autor:in) / Agafonov, Yu.A. (Autor:in) / Saraykin, V.V. (Autor:in) / Eremenko, V.G. (Autor:in) / Roshchupkin, D.V. (Autor:in) / Sedlovets, D.M. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS LETTERS ; 233 ; 115-117

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2018

    Format / Umfang:

    3 pages

    ISSN:

    0167-577X

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Unbekannt

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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