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    Titel:

    Nickel mono-silicide formation using a photo-thermal process assisted by ultra-violet laser

    Beteiligte:

    Jung, Sang Min (Autor:in) / Kim, Jin Hwan (Autor:in) / Park, Chul Jin (Autor:in) / Shin, Moo Whan (Autor:in)

    Erschienen in:

    Materials science in semiconductor processing ; 75 ; 263-268

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2018

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    1369-8001

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.38152

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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