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    Titel:

    Sputter deposition of nitride coatings in oxygen–contaminated sputter atmospheres

    Beteiligte:

    Jehn, Hermann A. (Autor:in) / Fromm, Eckehard (Autor:in) / Hofmann, Siegfried (Autor:in)

    Erschienen in:

    International journal of material & product technology ; 8 ; 253-264

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1993

    Format / Umfang:

    12 pages

    ISSN:

    0268-1900

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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