Metal oxide thin film, method for depositing metal oxide thin film and device comprising metal oxide thin film

Metalloxiddünnfilm, Verfahren zur Abscheidung von Metalloxiddünnfilmen und Vorrichtung mit Metalloxiddünnfilm
Film mince d'oxyde métallique, procédé de dépôt de film mince d'oxyde métallique et dispositif comprenant un film mince d'oxyde métallique

HITOSUGI TARO (Autor:in)

11.05.2016

Patent

Elektronische Ressource

Englisch

IPC:  C04B Kalk , LIME / C09K Materialien für Anwendungen, soweit nicht anderweitig vorgesehen , MATERIALS FOR APPLICATIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR / C23C Beschichten metallischer Werkstoffe , COATING METALLIC MATERIAL / G02F DEVICES OR ARRANGEMENTS, THE OPTICAL OPERATION OF WHICH IS MODIFIED BY CHANGING THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIUM OF THE DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF THE INTENSITY, COLOUR, PHASE, POLARISATION OR DIRECTION OF LIGHT, e.g. SWITCHING,... , Vorrichtungen oder Anordnungen, deren optische Arbeitsweise durch Änderung der optischen Eigenschaften des Mediums der Vorrichtungen oder Anordnungen geändert wird zum Steuern der Intensität, Farbe, Phase, Polarisation oder der Richtung von... / G06F ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING , Elektrische digitale Datenverarbeitung