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METAL OXIDE THIN FILM METHOD FOR DEPOSITING METAL OXIDE THIN FILM AND DEVICE COMPRISING METAL OXIDE THIN FILM
본 발명은 Re, Mn, 및 Ru으로 구성되는 그룹 중에서 적어도 하나의 도핑 원소를 포함하는 β-MoO3를 포함하는 금속산화물 박막에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 스퍼터링을 통해 그러한 금속산화물 박막을 제조하는 방법 및 Re, Mn, 및 Ru으로 구성되는 그룹 중에서 적어도 하나의 도핑 원소를 포함하는 β-MoO3를 포함하는 금속산화물 박막을 포함하는 박막 장치에 관한 것이다.
The invention relates to a metal oxide thin film comprising ²-MoO3 comprising at least one doping element of the group Re, Mn, and Ru. Further, the invention relates to a method of producing such a metal oxide thin film via sputtering and a thin film device comprising a metal oxide thin film comprising ²-MoO3 comprising at least one doping element of the group Re, Mn, and Ru.
METAL OXIDE THIN FILM METHOD FOR DEPOSITING METAL OXIDE THIN FILM AND DEVICE COMPRISING METAL OXIDE THIN FILM
본 발명은 Re, Mn, 및 Ru으로 구성되는 그룹 중에서 적어도 하나의 도핑 원소를 포함하는 β-MoO3를 포함하는 금속산화물 박막에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 스퍼터링을 통해 그러한 금속산화물 박막을 제조하는 방법 및 Re, Mn, 및 Ru으로 구성되는 그룹 중에서 적어도 하나의 도핑 원소를 포함하는 β-MoO3를 포함하는 금속산화물 박막을 포함하는 박막 장치에 관한 것이다.
The invention relates to a metal oxide thin film comprising ²-MoO3 comprising at least one doping element of the group Re, Mn, and Ru. Further, the invention relates to a method of producing such a metal oxide thin film via sputtering and a thin film device comprising a metal oxide thin film comprising ²-MoO3 comprising at least one doping element of the group Re, Mn, and Ru.
METAL OXIDE THIN FILM METHOD FOR DEPOSITING METAL OXIDE THIN FILM AND DEVICE COMPRISING METAL OXIDE THIN FILM
금속산화물 박막, 금속산화물 박막을 증착하기 위한 방법 및 금속산화물 박막을 포함하는 장치
HITOSUGI TARO (Autor:in)
08.06.2017
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
/
C23C
Beschichten metallischer Werkstoffe
,
COATING METALLIC MATERIAL
/
G02F
DEVICES OR ARRANGEMENTS, THE OPTICAL OPERATION OF WHICH IS MODIFIED BY CHANGING THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIUM OF THE DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF THE INTENSITY, COLOUR, PHASE, POLARISATION OR DIRECTION OF LIGHT, e.g. SWITCHING,...
,
Vorrichtungen oder Anordnungen, deren optische Arbeitsweise durch Änderung der optischen Eigenschaften des Mediums der Vorrichtungen oder Anordnungen geändert wird zum Steuern der Intensität, Farbe, Phase, Polarisation oder der Richtung von...
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