Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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DIELECTRIC FILM AND DIELECTRIC ELEMENT
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a dielectric film in connection with a dielectric element, such as a film capacitor with a dielectric film, which is small in the difference in relative dielectric constant between with and without a DC voltage applied, and which has a high relative dielectric constant even if a DC voltage is applied thereto.SOLUTION: A dielectric film includes a primary component expressed by the following general formula: (BaCa)(TiZr)O, where 0
【課題】誘電体膜を備える薄膜コンデンサ等の誘電体素子に関し、直流電圧の印加の有無における比誘電率の差が小さく、かつ、直流電圧を印加しても高い比誘電率を有する誘電体膜を提供すること。【解決手段】主成分が一般式（Ｂａ１−ｘＣａｘ）ｚ（Ｔｉ１−ｙＺｒｙ）Ｏ３で表され、前記一般式で、０＜ｘ≦０．５００、０＜ｙ≦０．３５０かつ、０．９００≦ｚ≦０．９９５で表わされる誘電体膜であって、前記誘電体膜は、柱状の結晶粒子を含有する層と、球状の結晶粒子を含有する層とを備え、前記誘電体膜には、副成分として２価金属元素および３価金属元素のうち少なくとも１種以上を含むことを特徴とする誘電体膜。【選択図】図１
DIELECTRIC FILM AND DIELECTRIC ELEMENT
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a dielectric film in connection with a dielectric element, such as a film capacitor with a dielectric film, which is small in the difference in relative dielectric constant between with and without a DC voltage applied, and which has a high relative dielectric constant even if a DC voltage is applied thereto.SOLUTION: A dielectric film includes a primary component expressed by the following general formula: (BaCa)(TiZr)O, where 0
【課題】誘電体膜を備える薄膜コンデンサ等の誘電体素子に関し、直流電圧の印加の有無における比誘電率の差が小さく、かつ、直流電圧を印加しても高い比誘電率を有する誘電体膜を提供すること。【解決手段】主成分が一般式（Ｂａ１−ｘＣａｘ）ｚ（Ｔｉ１−ｙＺｒｙ）Ｏ３で表され、前記一般式で、０＜ｘ≦０．５００、０＜ｙ≦０．３５０かつ、０．９００≦ｚ≦０．９９５で表わされる誘電体膜であって、前記誘電体膜は、柱状の結晶粒子を含有する層と、球状の結晶粒子を含有する層とを備え、前記誘電体膜には、副成分として２価金属元素および３価金属元素のうち少なくとも１種以上を含むことを特徴とする誘電体膜。【選択図】図１
DIELECTRIC FILM AND DIELECTRIC ELEMENT
誘電体膜および誘電体素子
TAKEDA SAORI (Autor:in) / FURUKAWA MASAHITO (Autor:in) / KOSUDA MASANORI (Autor:in) / OTSUKI SHIRO (Autor:in) / HARADA YOSHINORI (Autor:in)
15.12.2016
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch