Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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METHOD FOR MANUFACTURING CYLINDRICAL TARGET AND POWDER SINTERING MOLD USED THEREFOR
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a cylindrical target, capable of preventing cleavages and cracks, etc., of the cylindrical target from occurring when cooled after sintering, and a powder sintering mold used therefor.SOLUTION: A powder sintering mold 101 manufactures a cylindrical target by: forming a sleeve 1 using carbon or ceramics; forming a pressing portion arranged at a position contacting at least the cylindrical target in the longitudinal direction of a core rod 3A using a material having a thermal expansion coefficient equal to that of the cylindrical target or more; and sintering a raw material powder 7a thrown into a ring-like space part 6 in a state pressed between the sleeve 1 and the pressed portion by a pressing member 5.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】焼結後の冷却時における円筒形ターゲットの割れやクラック等の発生を防止することができる円筒形ターゲットの製造方法及びその製造に用いる粉末焼結用モールドを提供する。【解決手段】粉末焼結用モールド１０１は、スリーブ１をカーボン又はセラミックスにより形成し、芯棒３Ａの長手方向において、少なくとも円筒形ターゲットと接する位置に配置される加圧部分を、円筒形ターゲットの熱膨張係数と同等以上の熱膨張係数の材料により形成しておき、リング状の空間部６内に投入した原料粉末７ａを、押圧部材５によってスリーブ１と加圧部分との間で押圧した状態で焼結させて、円筒形ターゲットを製造する。【選択図】 図１
METHOD FOR MANUFACTURING CYLINDRICAL TARGET AND POWDER SINTERING MOLD USED THEREFOR
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a cylindrical target, capable of preventing cleavages and cracks, etc., of the cylindrical target from occurring when cooled after sintering, and a powder sintering mold used therefor.SOLUTION: A powder sintering mold 101 manufactures a cylindrical target by: forming a sleeve 1 using carbon or ceramics; forming a pressing portion arranged at a position contacting at least the cylindrical target in the longitudinal direction of a core rod 3A using a material having a thermal expansion coefficient equal to that of the cylindrical target or more; and sintering a raw material powder 7a thrown into a ring-like space part 6 in a state pressed between the sleeve 1 and the pressed portion by a pressing member 5.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】焼結後の冷却時における円筒形ターゲットの割れやクラック等の発生を防止することができる円筒形ターゲットの製造方法及びその製造に用いる粉末焼結用モールドを提供する。【解決手段】粉末焼結用モールド１０１は、スリーブ１をカーボン又はセラミックスにより形成し、芯棒３Ａの長手方向において、少なくとも円筒形ターゲットと接する位置に配置される加圧部分を、円筒形ターゲットの熱膨張係数と同等以上の熱膨張係数の材料により形成しておき、リング状の空間部６内に投入した原料粉末７ａを、押圧部材５によってスリーブ１と加圧部分との間で押圧した状態で焼結させて、円筒形ターゲットを製造する。【選択図】 図１
METHOD FOR MANUFACTURING CYLINDRICAL TARGET AND POWDER SINTERING MOLD USED THEREFOR
円筒形ターゲットの製造方法及びその製造方法に用いる粉末焼結用モールド
NAGAO MASAYOSHI (Autor:in) / URAYAMA TSUNETARO (Autor:in)
28.12.2016
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
IPC:
C23C
Beschichten metallischer Werkstoffe
,
COATING METALLIC MATERIAL
/
B22F
Verarbeiten von Metallpulver
,
WORKING METALLIC POWDER
/
B28B
Formgeben von Ton oder anderen keramischen Stoffzusammensetzungen, Schlacke oder von Mischungen, die zementartiges Material enthalten, z.B. Putzmörtel
,
SHAPING CLAY OR OTHER CERAMIC COMPOSITIONS, SLAG OR MIXTURES CONTAINING CEMENTITIOUS MATERIAL, e.g. PLASTER
/
C04B
Kalk
,
LIME
CYLINDRICAL CERAMIC SPUTTERING TARGET AND MANUFACTURING DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
Europäisches Patentamt | 2021
CYLINDRICAL CERAMIC SPUTTERING TARGET AND MANUFACTURING DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
| Europäisches Patentamt | 2016
CYLINDRICAL CERAMIC SPUTTERING TARGET AND MANUFACTURING DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
| Europäisches Patentamt | 2017
SINTERING MOLD, AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
| Europäisches Patentamt | 2019