Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a plasma resistant member with which particles can be reduced and a chamber condition is stably maintained.SOLUTION: A plasma resistant member 120 includes a base material and a layer structure formed on a surface of the base material, including polycrystalline yttria, and having plasma resistance. Crystallites included in the polycrystalline yttria constituting the layer structure are joined to one another not via a heterophase, the polycrystalline yttria constituting the layer structure has a crystal structure including only cubic crystals or a crystal structure in which the cubic crystal and a monoclinic crystal are mixed with each other, and an average value of the ratio of the monoclinic crystal to the cubic crystal in the polycrystalline yttria constituting the layer structure is 0 to 60%.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】パーティクルを低減させることができ、チャンバーコンディションを安定的に維持することができる耐プラズマ性部材の提供。【解決手段】基材と、前記基材の表面に形成されイットリア多結晶体を含み耐プラズマ性を有する層状構造物と、を備え、前記層状構造物を構成するイットリア多結晶体に含まれる結晶子同士は、異相を介して接合されておらず、前記層状構造物を構成するイットリア多結晶体は、立方晶のみを含む結晶構造または立方晶と単斜晶とが混在した結晶構造を有し、前記層状構造物を構成するイットリア多結晶体中における、立方晶に対する単斜晶の割合の平均値は、０％〜６０％である耐プラズマ性部材１２０。【選択図】図１
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a plasma resistant member with which particles can be reduced and a chamber condition is stably maintained.SOLUTION: A plasma resistant member 120 includes a base material and a layer structure formed on a surface of the base material, including polycrystalline yttria, and having plasma resistance. Crystallites included in the polycrystalline yttria constituting the layer structure are joined to one another not via a heterophase, the polycrystalline yttria constituting the layer structure has a crystal structure including only cubic crystals or a crystal structure in which the cubic crystal and a monoclinic crystal are mixed with each other, and an average value of the ratio of the monoclinic crystal to the cubic crystal in the polycrystalline yttria constituting the layer structure is 0 to 60%.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】パーティクルを低減させることができ、チャンバーコンディションを安定的に維持することができる耐プラズマ性部材の提供。【解決手段】基材と、前記基材の表面に形成されイットリア多結晶体を含み耐プラズマ性を有する層状構造物と、を備え、前記層状構造物を構成するイットリア多結晶体に含まれる結晶子同士は、異相を介して接合されておらず、前記層状構造物を構成するイットリア多結晶体は、立方晶のみを含む結晶構造または立方晶と単斜晶とが混在した結晶構造を有し、前記層状構造物を構成するイットリア多結晶体中における、立方晶に対する単斜晶の割合の平均値は、０％〜６０％である耐プラズマ性部材１２０。【選択図】図１
PLASMA RESISTANT MEMBER
耐プラズマ性部材
IWAZAWA JUNICHI (Autor:in)
29.06.2017
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
/
C01F
COMPOUNDS OF THE METALS BERYLLIUM, MAGNESIUM, ALUMINIUM, CALCIUM, STRONTIUM, BARIUM, RADIUM, THORIUM, OR OF THE RARE-EARTH METALS
,
Verbindungen der Metalle Beryllium, Magnesium, Aluminium, Calcium, Strontium, Barium, Radium, Thorium oder der Seltenen Erden
/
C23C
Beschichten metallischer Werkstoffe
,
COATING METALLIC MATERIAL
/
H01L
Halbleiterbauelemente
,
SEMICONDUCTOR DEVICES