Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
CERAMIC MATERIAL, AND ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a ceramic material suitable used for an electrostatic chuck device and excellent in durability, and the electrostatic chuck device using the ceramic material.SOLUTION: There is provided a ceramic material satisfying following (i) and (ii). (i) When a test piece of the ceramic material with thickness of 0.3 mm is sandwiched by electrodes with diameter of 20 mm and voltage value is measured at voltage increase rate of 1000 V/sec. according to short time test defined by JIS C2110-2, the voltage value with current value flowing in the test piece of over 1 μA is 10 kV/mm or more. (ii) When current value flowing in the test piece is measured per 0.1 sec. in the test conducted under same condition of the (i), current value corresponding to voltage value 0.1 sec. before the time that the current value is increased over 10 μA per 0.1 sec. is 5 μA or more.SELECTED DRAWING: None
【課題】静電チャック装置に好適に用いられ、耐久性に優れたセラミックス材料を提供する。また、このようなセラミックス材料を用いた静電チャック装置を提供する。【解決手段】下記（ｉ）および（ii）を満たすセラミックス材料。（ｉ）ＪＩＳ Ｃ２１１０−２で規定する短時間試験に準じ、０．３ｍｍの厚さ前記セラミックス材料の試験片を同径の直径２０ｍｍの電極で挟持し、電圧上昇速度１０００Ｖ／秒にて測定したとき、前記試験片に流れる電流値が１μＡを超えたときの電圧値が１０ｋＶ／ｍｍ以上（ii）上記（ｉ）と同条件で行う試験において、試験片に流れる電流値を０．１秒ごとに測定したとき、電流値が０．１秒あたり１０μＡを超えて増加した時間に対し、時間の０．１秒前の電圧値に対応する電流値が５μＡ以上【選択図】 なし
CERAMIC MATERIAL, AND ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a ceramic material suitable used for an electrostatic chuck device and excellent in durability, and the electrostatic chuck device using the ceramic material.SOLUTION: There is provided a ceramic material satisfying following (i) and (ii). (i) When a test piece of the ceramic material with thickness of 0.3 mm is sandwiched by electrodes with diameter of 20 mm and voltage value is measured at voltage increase rate of 1000 V/sec. according to short time test defined by JIS C2110-2, the voltage value with current value flowing in the test piece of over 1 μA is 10 kV/mm or more. (ii) When current value flowing in the test piece is measured per 0.1 sec. in the test conducted under same condition of the (i), current value corresponding to voltage value 0.1 sec. before the time that the current value is increased over 10 μA per 0.1 sec. is 5 μA or more.SELECTED DRAWING: None
【課題】静電チャック装置に好適に用いられ、耐久性に優れたセラミックス材料を提供する。また、このようなセラミックス材料を用いた静電チャック装置を提供する。【解決手段】下記（ｉ）および（ii）を満たすセラミックス材料。（ｉ）ＪＩＳ Ｃ２１１０−２で規定する短時間試験に準じ、０．３ｍｍの厚さ前記セラミックス材料の試験片を同径の直径２０ｍｍの電極で挟持し、電圧上昇速度１０００Ｖ／秒にて測定したとき、前記試験片に流れる電流値が１μＡを超えたときの電圧値が１０ｋＶ／ｍｍ以上（ii）上記（ｉ）と同条件で行う試験において、試験片に流れる電流値を０．１秒ごとに測定したとき、電流値が０．１秒あたり１０μＡを超えて増加した時間に対し、時間の０．１秒前の電圧値に対応する電流値が５μＡ以上【選択図】 なし
CERAMIC MATERIAL, AND ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE
セラミックス材料、静電チャック装置
YOSHIOKA YOSHIKI (Autor:in) / HIDAKA NOBUHIRO (Autor:in) / KUGIMOTO HIROKUNI (Autor:in)
24.11.2017
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
Ceramic Composition Electrostatic Chuck and Manufacturing Method of Electrostatic Chuck
Europäisches Patentamt | 2023
Ceramic Composition Electrostatic Chuck and Manufacturing Method of Electrostatic Chuck
| Europäisches Patentamt | 2017