Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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SINTERED BODY, MANUFACTURING METHOD THEREFOR AND ELECTROSTATIC CHUCK
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sintered body having a novel structure having a porous body in open holes of a ceramic substrate with good reliability.SOLUTION: A sintered body contains a ceramic substrate 10 by sintering oxide particles 10a, an open hole TH formed in the ceramic substrate 10 and having each side surface of the oxide particles 10a exposed to an inner wall of the hole pore TH in flush, and a porous body 20 arranged in the open hole TH and formed from spherical oxide ceramic particles 22 and mixed oxide 24 binding to the spherical oxide ceramic particles 22.SELECTED DRAWING: Figure 2
【課題】セラミック基板の貫通孔に多孔質体が信頼性よく配置される新規な構造の焼結体を提供する。【解決手段】酸化物粒子１０ａが焼結されたセラミック基板１０と、セラミック基板１０に形成された貫通孔ＴＨであって、貫通孔ＴＨの内壁に露出する酸化物粒子１０ａの各側面が面一となって配置された貫通孔ＴＨと、貫通孔ＴＨに配置され、球状酸化物セラミック粒子２２と、球状酸化物セラミック粒子２２を結着する混合酸化物２４とから形成された多孔質体２０とを含む。【選択図】図２
SINTERED BODY, MANUFACTURING METHOD THEREFOR AND ELECTROSTATIC CHUCK
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sintered body having a novel structure having a porous body in open holes of a ceramic substrate with good reliability.SOLUTION: A sintered body contains a ceramic substrate 10 by sintering oxide particles 10a, an open hole TH formed in the ceramic substrate 10 and having each side surface of the oxide particles 10a exposed to an inner wall of the hole pore TH in flush, and a porous body 20 arranged in the open hole TH and formed from spherical oxide ceramic particles 22 and mixed oxide 24 binding to the spherical oxide ceramic particles 22.SELECTED DRAWING: Figure 2
【課題】セラミック基板の貫通孔に多孔質体が信頼性よく配置される新規な構造の焼結体を提供する。【解決手段】酸化物粒子１０ａが焼結されたセラミック基板１０と、セラミック基板１０に形成された貫通孔ＴＨであって、貫通孔ＴＨの内壁に露出する酸化物粒子１０ａの各側面が面一となって配置された貫通孔ＴＨと、貫通孔ＴＨに配置され、球状酸化物セラミック粒子２２と、球状酸化物セラミック粒子２２を結着する混合酸化物２４とから形成された多孔質体２０とを含む。【選択図】図２
SINTERED BODY, MANUFACTURING METHOD THEREFOR AND ELECTROSTATIC CHUCK
焼結体及びその製造方法と静電チャック
HORIUCHI MICHIO (Autor:in) / MIYAZAWA MASAKUNI (Autor:in)
14.12.2017
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
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COMPOSITE SINTERED BODY, ELECTROSTATIC CHUCK MEMBER, AND ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE
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